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ケミカルエアフィルタ関連機器（PURATEX） 製造、販売
プリーツ型ケミカルエアフィルタ／CS型ケミカルエアフィルタ／CS型マルチトレーケミカルエアフィルタ／HS型ケミカルフィルタ／ケミカルファンフィルタユニット（CFFU）／DTアナライザ
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クリーンエア装置（省エネ対応・ケミカル対応可） 製造、販売
クリーンベンチ／クリーンブース／クリーンユニット／ミニエンバイロンメント／サーマルチャンバー／クリーンドラフト／ファンフィルタユニット（FFU）
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半導体・LCD関連装置 製造、販売
（
1）
洗浄装置
全自動ウエーハ洗浄装置／全自動有機洗浄装置／全自動レチクル洗浄装置／全自動クオーツ洗浄装置／全自動ベルジャー洗浄装置
（
2）
乾燥装置
自動PIQオーブン／LCD用自動ベークオーブン／各種乾燥装置／減圧乾燥装置／FOSB・FOUP乾燥オーブン／N2置換式低酸素濃度Clean Oven
（
3）
各種保管庫（ケミカル対応可）
レチクルストレージシステム／スライド式レチクルストッカー／マスクストッカー／省エネ対応パーシャルストッカー／ケミカル対応ウエーハストッカー／クリーンスーツストッカー（ケミカル対応可）／N2パージストッカー／簡易レチクル管理システム
（4）
FOSBオープナー
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クリーンルーム・シールドクリーンルーム設計・施工・管理
システム天井／クリーンパネル／シールドパネル／フリーアクセスフロア
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クリーン関連機器 製造、販売
エアーフィルタ／ボロンフリーフィルタ／エアーシャワー／パスボックス／パーティクル・カウンター
