Pure Clean Environment

製品情報

プリーツ型ケミカルエアフィルタ

ケミカルエアフィルタ製造・販売 最終更新:

プリーツタイプ

各種半導体製造への組み込み、FFU搭載、ULPAフィルタとの積層を目的として開発されたフィルタで風速0.3~1.5m/secの場所で用いられます。酸、アルカリ、有機物除去の3種類のフィルタがあり、酸、アルカリ除去はイオン交換繊維、有機除去は繊維活性炭を使用しています。繊維活性炭は不織布タイプと抄紙タイプがあります。酸除去用のアニオン交換繊維は特にボロン除去に対して高除去率と長寿命の性能を有しており、ウエーハメーカで広く採用されております。

適用ろ材 カチオン不織布、アニオン不織布、ACF布
寸法(H×W) 305mm×610mm、610mm×610mm、610mm×915mm 他
厚み(D) 66mm、80mm、150mm、290mm
フィルタ枠材質 アルミ(アルマイト処理材)

PLEATED TYPE FILTER PRESSURE LOSS

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