真空ガス置換システムVGXシステム 各種保管庫製造・販売 最終更新：2015.08.24 ウエーハやマスク、精密部品等を真空状態で保管し、自然酸化膜や分子汚染また吸湿を極限まで防止出来る保管庫で、従来の窒素パージに比べ効果は4倍以上の長期保管が可能です。
