Pure Clean Environment

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真空ガス置換システムVGXシステム

各種保管庫製造・販売 最終更新:

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ウエーハやマスク、精密部品等を真空状態で保管し、自然酸化膜や分子汚染また吸湿を極限まで防止出来る保管庫で、従来の窒素パージに比べ効果は4倍以上の長期保管が可能です。

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