大型基板及び各種治工具の乾燥、保管に利用できます。 目的に合った、風の流れを提供いたします。 （サイドフロー・ダウンフロー・背面吹出し）N2置換方式による、高温仕様タイプ（MAX450度）も多数実績あります。 真空オーブンも製作しております。 プリベーク、ポストベーク用として広範囲な乾燥保管に利用できます。 ポリイミド熱処理に最適なクリーンオーブンです。 低酸素雰囲気で熱処理を行い、シリコンウエーハを対象としております。   従来のクリーンオーブンに当社の分子汚染対策技術を加え、パーティクル汚染物だけでなくケミカル汚染物をも排除した超清浄空間にて乾燥できる次世代のスーパークリーンオーブンを開発しました。