サイズの異なるウエーハを一台で処理できる、ウエーハ洗浄装置をはじめとし、色々な仕様のクリーンオーブン（無塵恒温槽）を製作しております。 又ガラス基板には、新しい洗浄技術・搬送技術を取り入れて、寸法の多様化に対応した洗浄装置を提供いたします。 ウエーハ洗浄装置は化合物半導体を含め、パーティクル洗浄、剥離処理をバッチ・枚葉どちらの対応もしております。治工具類の洗浄装置は、被洗浄物に適したディップ方式・スプレーノズル方式を使い分け、洗浄効果と供に少ない純水使用量で薬液残りをなくす提案をさせていただきます。 洗浄後乾燥の捕らえ方として、クリーンであることを前提に装置を提供しております。HEPA・ULPAフィルタを使用してのエアー循環、排気に起因する陰圧による内部汚染対策も行なっており、クリーン機器メーカーとしてのノウハウを取入れた装置です。乾燥方式は、パイプヒータ、遠赤外線、赤外線（ＩＲ）を標準とし、減圧乾燥装置も製作しております。