少ないN２量で素早く酸素濃度を低下させるN2パージストッカー、 低湿度雰囲気でウエーハを保管するストッカー、 ケミカル汚染フリーの状態で保管できるストッカー等、 ダン・タクマの持っているクリーン、温湿度制御、 ケミカルフィルターの得意分野を活かした保管装置を提供いたします。 ストッカー内をN2置換によりO2濃度を制御します。 多量のレクチルを効率的に保管します。   棚番バーコードを無線ハンディ端末で照会し、確実な入出庫管理が出来ます。工場内の大量レチクル管理に最適です。