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2007.10 |
・基材を活性炭としたハニカム構造体
・メディアの構造が低圧損を実現
・省スペースで設置可能
・長寿命を実現
・硫化水素除去の長寿命化に成功
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2007.10 |
HORIBAグループとの契約により半導体業界向けに化学汚染（AMC：Airborne Molecular Contamination）制御技術の一環として，AMC監視用連続微量測定機器“DTアナライザ”を販売しています。
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2007.10 |
電子線関連装置に対する複合的磁気シールドの有効性について |
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2003.08 |
IC組立ライン、部品組立ライン等の局所的クリーンの要求に最適です。 |
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2003.07 |
超純空間の要求にこたえるべく、新たなフィルタメディアとして低圧損、高除去率、長寿命を実現したケミカル汚染対応エアフィルタ |
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