Pure Clean Environment

製品情報

バッチ式ウエーハ洗浄装置

洗浄装置/乾燥装置製造・販売 最終更新:

ウエーハ洗浄装置

お客様の工程に合わせ、リーズナブルな洗浄装置を提供

  • SC-1、SC-2、その他の洗浄に対して自由なライン構成の装置設計をしております。
    (4インチ~8インチの混載も可能)
  • 又搬送ロボットは高速で信頼性も高くメンテナンスの容易な前面アクセス方式を採用しています。
    (天井搬送、背面搬送も実績多数あります。)
  • 有機用は全てSUS製です。乾燥については IPAベーパー乾燥にて対応しております。安全仕様についても対応しております。

ウエーハ洗浄装置maiyo

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