半導体・電子デバイス業界の求めるクリーン環境の創造
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SERVICE
SERVICE 01
AMC(分子汚染）対策製品
半導体や電子デバイスの製造過程では、工場内の空気中に存在する分子状の微量な汚染物質（AMC）が製品の品質に大きく影響します。
当社では、分子状での汚染物質除去を行うケミカルフィルターやppb（十億分の一）以下の汚染状況をモニタリングするシステム、工場内の分子汚染の分析サービスによりお客様のAMC対策へのトータルソリューションをご提供しています。
AMC環境濃度測定器（DT-アナライザー）／AMC微量分析サービス
ケミカルフィルター（PURATEX）※
- CS型ケミカルフィルター
- MTO型ケミカルフィルター（外気処理）
- CS型マルチトレーケミカルフィルター
- HS型ケミカルフィルター
- PLS型ケミカルフィルター
- 圧空タイプケミカルフィルター
「PURATEX」は日本、アメリカ、中国、台湾、韓国でダン・タクマが商標登録しています
SERVICE 02
クリーン環境装置
クリーン環境装置により工場内のナノレベルのダストや分子レベルの汚染物質を除去した高度なクリーン環境を提供し、お客様の製造過程で要求される工場環境の課題解決に貢献しています。
- クリーンオーブン
- クリーンベンチ
- サーマルチャンバー
- エアシャワー
- ファンフィルターユニット(FFU)
SERVICE 03
温湿度制御関連装置
半導体や電子デバイスの製造過程における、温度や湿度によって品質が大きく影響される工程において、精密な温度・湿度を制御した空調システムをご提案し、製造過程毎に異なる要求に応じた空調の課題解決に貢献しています。また、温度制御技術・クリーン技術を応用した、半導体基板の乾燥熱処理を目的とした自動オーブン装置、半導体ウェーハの製造や梱包に使用する治具・ボックス等を乾燥するオーブン装置などを提供しています。
熱処理装置
- クリーンオーブン
- 低酸素濃度クリーンオーブン
- FOSB・FOUP乾燥オーブン
- 石英管乾燥装置
各種保管庫（ケミカルフィルター対応可）
- N2パージストッカー
- レチクルストッカー
SERVICE 04
洗浄装置
半導体基板、ウェーハのみならず、製造装置に使用する各種治具や部品の洗浄装置を提供し、お客様の洗浄工程における課題解決に貢献しています。当社は、お客様のご要望に応じて異なるサイズの基板洗浄が可能な洗浄装置や特殊基板・治具の洗浄といった、量産ライン向けではない特注・オーダーメイド洗浄装置に強みがあり、マイクロバブルを適用した高度洗浄により環境負荷の低減を志向しています。
- バッチ式ウエーハ洗浄装置
- 枚葉式ウエーハ洗浄装置
- 石英管洗浄装置
- ドラフトチャンバー
- マイクロバブル発生装置
SERVICE 05
磁気シールドチャンバー関連設備
強磁性体のパーマロイ（ニッケル合金）を使用した磁気シールドチャンバーを設計・施工し、低周波領域（0〜数kHz）の環境磁界を遮蔽します。
本製品は、環境磁界変動の影響を受ける電子線関連の高感度システム、主に半導体分野における電子線描画装置や電子顕微鏡（SEM・TEM）を対象としています。また、クリーン空調システムとの組合せにより、チャンバー内の空調・清浄度・ケミカル濃度等の制御が可能となります。
- 磁気シールドチャンバー
- 磁界キャンセラー
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