Pure Clean Environment

製品情報

サーマルチャンバー

クリーンエア装置製造・販売 最終更新:

サーマルチャンバー

省エネ対応

保管庫、局所クリーン、クリーンブース、クリーンベンチ、クリーンルームまで用途に合わせた空調システムを提供します。

エアー循環式、エアーワンパス式、省エネ式等用途に合わせて設計します。又、ケミカルフィルターの搭載も可能です。

使用例
(1)半導体 n(ナノ)単位の測定器環境
(2)クリーンブース室内環境温度改善
(3)食品生産における冷却工程
(4)特殊塗装乾燥工程における高湿度エアー供給システム
仕様
清浄度 クラス10  (0.1μm)
風量 35m3/min
設置場所環境 DB23℃±1℃ RH45%±5%
制御条件 DB23℃±0.05℃ (設置場所環境の急激な変化時は除く)
温度分布 DB23℃±0.1℃ (設置場所環境の急激な変化時は除く)
内部発熱 1KW
排気量 5m3/min以下まで許容
温度制御 ホットガス再熱方式
冷凍機 水冷式
筐体 SUS304 #400研磨
フィルター ULPAフィルター (ケミカルフィルター取付可能)
安全 非常停止、冷凍機異常、漏電ブレーカ、漏水異常、過熱異常、過電流異常 他
電源 AC200V 3φ 50/60 10A以下
冷却水 25℃ 19L/min 34℃ 42L/min
製品例
サーマルクリーンブース 低湿度サーマルチャンバー
クリーンブース内の作業者に快適な環境を整えます。
循環方式の場合クリーンブース内の湿度を下げない方式を採用できます。
制御範囲 ・・・ 24℃±1℃
設置場所環境 ・・・ 20℃~30℃
湿気に影響される製品の保管、低湿度下での作業が要求される設備に低湿度エアーを供給します。
制御範囲 ・・・ 25℃以下の
コントロール
絶対湿度 ・・・ 5g/m3
設置場所環境 ・・・ 24℃±2℃
スポットサーマルチャンバー サーマルクリーンチャンバー
装置内の制御精度を要求される個所に、湿度コントロールされたクリーンエアーを供給します。
制御範囲 ・・・ 23℃±0.05℃
45%±5%
(設置場所環境の
急激な変化時は
除く)
設置場所環境 ・・・ 20℃~25℃
45%±10%
温度変化による伸縮の影響を受けるnμの位置精度を必要とする設備、レーザーを使用する微細測定機器などの設備を収納し、設置場所の環境変動による影響を受けないようエアーを循環させ温度コントロールします。
制御範囲 ・・・ 22℃±0.05℃
(設置場所環境の
急激な変化時は
除く)
設置場所環境 ・・・ 24℃±1.5℃

 

概略図
●外形寸法  2600×1800×2100H
●室内寸法  2000×1700×1800H
●質量  700kg
概略図

 

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