Pure Clean Environment

製品情報

マイクロバブル発生装置/洗浄装置

マイクロバブル発生装置/洗浄装置製造販売 最終更新:

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  • 弊社は、マイクロ/ナノバブルの要素技術をもとに、半導体・電子産業向けに、各種洗浄装置・マイクロ/ナノバブル供給ユニットの開発・販売を行ってまいります。

  • マイクロバブル発生方式の主要技術である加圧溶解方式を採用し、非常に密度の高いマイクロ/ナノバブルの発生を実現します。

  • 応用分野として
    高濃度オゾンマイクロバブルによる半導体洗浄
    その他、医療、農業、産業分野の多岐にわたるアプリケーション

  • 2018年4月より、東北大学未来科学技術共同研究センターと産学連携共同研究を開始しました。

  • 東北大学未来情報産業研究館内のクリーンルームに、マイクロ/ナノバブル発生装置、マイクロ/ナノバブル搭載枚葉式洗浄装置(200mm, 150mm, フォトマスク対応)、簡易バッチ槽等を設置し、研究開発、ユーザーサンプルのデモ実験を行っております。

 

 

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