Pure Clean Environment

製品情報

マイクロバブル発生装置/洗浄装置

マイクロバブル発生装置/洗浄装置製造販売 最終更新:

microbubble

  • 弊社は、マイクロ/ナノバブルの要素技術とアプリケーション技術を有する株式会社オプトクリエーションと業務提携を締結しました。
  • 株式会社オプトクリエーションの有するマイクロ/ナノバブル発生装置の要素技術、アプリケーション技術と弊社の持つ、装置製造技術、営業・サービス網を活用し、半導体・電子部品用洗浄装置の開発・販売を行ってまいります。
  • マイクロバブル発生方式の主要技術である加圧溶解方式を開発し、非常に密度の高いマイクロ/ナノバブルの発生を実現します。
  • 応用分野として
    高濃度オゾンマイクロバブルによる半導体洗浄
    その他、医療、農業、産業分野の多岐にわたるアプリケーション

  • 2015年4月横浜市産学共同研究センター(神奈川県横浜市)内にR&Dセンター開設。(クリーンルーム内に以下の装置を設置)
    300mmウェーファ対応枚葉洗浄機
    ウェットベンチ

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