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製品情報

石英管洗浄装置

洗浄装置/乾燥装置製造・販売 最終更新:

石英管洗浄装置

各種特殊チューブ対応可能、縦型・横型実績多数

縦型炉用
全自動にて作動し、拡散炉用及びCVD用にも対応できます。横型ディップ式との比較では、使用する薬液量は8インチウエーハ用チューブの場合最大1/20と削減でき、純水使用量も半分以下になります。洗浄・リンスノズルの工夫で、処理終了時の薬液雰囲気の残りはチューブは勿論、装置内部にもありません。

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