Pure Clean Environment

製品情報

磁気シールドクリーンルーム

磁気シールドクリーンルーム/クリーンルーム設計・施工・管理 最終更新:

磁気シールドクリーンルーム

磁気シールド技術と精密空調制御を組合せたトータルエンジニアリングを提供

半導体マスク用描画装置の微細加工技術が進歩する中で、装置の設置環境の高安定性が要求されています。特に設置環境として磁場変動・温度変化の安定が求められています。
弊社は長年のクリーンルーム施工のノウハウと磁気シールド技術を融合し、高精度の安定した環境を提供しています。併せてシールドルーム内のケミカル汚染対策も自社のケミカルフィルターを用いて超低濃度の環境を維持しています。

特長
(1)クリーンルームと磁気シールド工事の一貫施工により、高性能な磁気シールドクリーンルームを提供します。
(2)空調システムのユニット化及び磁気シールドパネルの組立方式により、工事期間を従来の1/2に短縮します。
(3)クリーンルームの再熱制御システムの開発により、精密な温度制御を実現すると共に空調ランニングコストを低減します。
(4)空調・磁気シールド・ケミカルフィルターと複数の要素を全て自社製品で施工できる為、納期・コスト面でお客様に満足を提供できます。

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