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FOSBオープナー

クリーン関連機器製造・販売 最終更新:

FOSBオープナー

300mmウエーハ搬送ボックス(FOSB)の蓋開け装置ーとしては、世界一の納入実績を誇る

300mmウエーハはウエーハメーカーからデバイスメーカーへ出荷される際、FOSB(Front Opening Shipping Box)と言われる特殊な容器に収納して運搬されます。

ウエーハを容器に収納する際、及び取出す際にFOSBの蓋を自動開閉する装置が求められ、当社は世界に先駆けてFOSBオープナーを開発しました。FOSB容器は日本に2機種(ウエーハメーカーにより異なる)あるが弊社はいずれの容器をも1台のオープナーで開閉可能としています。

特長
(1)クリーン設計:可動部を極力密閉構造とし、発塵部は負圧に保ちClass1に対応しています。
(2)自動化:全自動ウエーハ移載システム(ソーティング)の構築が可能です。
(3)高速開閉 Door開、閉の各動作時間は、10秒以内です。
SAB 300X 柿崎・信越製FOSB共通対応機
SAB 300K 柿崎製FOSB対応機
SAB 300S 信越製FOSB対応機
標準付属品 着座センサ・蓋有無センサ・容器種類判別センサ(共通機)・ ウエーハ飛出し防止センサ
オプション機器 マッピングセンサ・インフォパッド・バーコードリーダ

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