Pure Clean Environment

製品情報

FOSB・FOUP乾燥オーブン

熱処理装置製造・販売 最終更新:

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300mmデバイスのウエーハ容器として使用されるFOSBやFOUPなどは特に近年の微細化に伴い、パーティクル汚染だけでなく分子汚染排除の要求も強くなってきました。
ダン・タクマはそれらの要望にこたえるべく、従来のクリーンオーブンに当社の分子汚染対策技術を加え、パーティクル汚染物だけでなくケミカル汚染物をも排除した超清浄空間にて乾燥できる次世代のスーパークリーンオーブンを開発しました。

本製品は従来の0.1μクラス10対応の高清浄度温風循環式クリーンオーブンにダン・タクマのケミカルフィルター”PURATEX"を登載し外部からのケミカル汚染物の進入を防ぎ、尚且つ内部部材からのアウトガスを極力低減させ、乾燥時における被乾燥物への分子汚染を極力低減したクリーンオーブンです。 特にウエーハが嫌うボロンやリン、有機物等について対策されています。

概略図
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仕様
FD-160-8
収納数 FOUP または FOSB 8個
清浄度 0.1μ クラス10
最高温度 80°C
温度分布 ±3%
 温度プログラム制御付
 湿度表示(オプション)
ケミカルフィルター 3種類(酸性ガス除去用+アルカリ性ガス除去用+有機性ガス除去用)
ULPAフィルター 低有機+低ボロンタイプ

※他に6個収納用、12個収納用もあります。  
収納個数及び寸法、他仕様については変更対応可能です。

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