Pure Clean Environment

製品情報

FOUP N2パージシステム

各種保管庫製造・販売 最終更新:

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  • 微細化の進んだφ300mmウエーハプロセスにおいて、FOUP内の分子汚染による製品Difect(欠陥)がクローズアップされております。
    その対策としてストック中のFOUP内の窒素パージが行われています。
  • 本システムは、FOUPのN2供給ポート部にメカニカルパージバルブ、 排気部にFOUP内のN2流量と湿度を確認するセンサー内蔵の排気ポート、またそれを監視するI/Oユニット及びI/Fユニットより構成されています。
    従来のパージシステムに比べ、シンプルで且つ確実にパージを行える省コスト・省エネのパージシステムです。
  • 監視システムはストッカー内各FOUPのパージ状況監視を行います。
    I/F画面上に、パージ状況(在荷状況、パージ時間、パージ流量、FOUP内湿度)を常時モニタリングします。 また、上位(MES)通信機能等もオプションで対応可能です。

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