Pure Clean Environment

製品情報

MTO型ケミカルエアフィルタ

ケミカルエアフィルタ製造・販売 最終更新:

mto

  • 半導体等の製造工場で問題となるケミカル汚染ガス(酸性ガス・塩基性ガス・有機ガス)を除去。
  • Cu配線の腐食の原因となる硫化水素にも対応。
  • 外調機内への設置が可能。
  • メンテナンスは、トレーフィルターの交換のみ。(外枠は初回設置時のみ)

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