Pure Clean Environment

製品情報

N2パージストッカー

各種保管庫製造・販売 最終更新:

N2パージストッカー

  • 少ないN2使用量で低酸素雰囲気での保管が可能です
  • ウエーハ、ガラス基板等の自然酸化膜制御及び吸湿 防止、精密部品の酸化防止に使用できます。
  • を流すだけのデシケータとは異なり、N置換スピードが早く、全ての収納棚が独立しており、1つの扉を開けた時でも、ほかの収納棚の酸素濃度は変化しません。
  • 各収納棚ごとにリストリクションとパージノズルを設置しているため、各棚の酸素濃度は均一に低下していきます。

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