Pure Clean Environment

製品情報

PLS型ケミカルエアフィルタ

ケミカルエアフィルタ製造・販売 最終更新:

pls

  • ArFエキシマレーザを用いた露光装置用に開発された高性能ケミカルフィルタ
  • 高除去率・長寿命の有機物除去フィルタ
  • トリメチルシラノール(TMS)等の低沸点有機物を高効率で除去
  • 低圧損[同サイズの当社従来品と比べて約1/2]

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